Влияние газовакуумной системы технологического оборудования на качество выпускаемых изделий в микроэлектронике
Основным источником загрязнений при создании тонкопленочных структур является рабочий газ. Рассматривается вопрос влияния конструктивных элементов газовой системы оборудования на молекулярное загрязнение газа. Экспериментально определен вклад стандартного редуктора давления, в конструкции которого используются различные материалы уплотнения, в загрязнение ОСЧ азота.
Вы должны быть зарегистрированным пользователем,
чтобы просмотреть информацию на этой странице.
Пожалуйста зарегистрируйтесь, нажав на кнопку "Регистрация" или войдите на сайт,
используя форму ниже, если у Вас есть логин и пароль.
